用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵能够在的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。
它优良的性能源自于转子排气路径和优的转子型线设计。
汉钟特有型线设计，上海，台湾，制造。
较之前的版本节约能源25%，配置有省电模式。
带有加热系统避免制程物沉积。
优化的尺寸，即插即用。
